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            成功案例
            • 真空清洗机
            • 真空干燥自动超声波清洗机
            • 真空干燥清洗机

            设备名称:真空干燥式全自动超声波清洗机

            设备型号:FWA-850TEK
            清洗对象:集成电路芯片
            使用厂家:爱普生精密电子 (苏州)有限公司

            在线咨询
            详细参数 Parameter

            FWA-850TEK型清洗机采用流行环保水基清洗工艺,具有如下优点。

            (1)  设计先进、合理,充分考虑了环保和节能的要求;

            (2)  独特的锯齿状四周溢流,清洗区液体干净,无二次污染;

            (3)  采用全封闭式结构,运行部件设计充分考虑防止污染;

            (4)  超声波震动板悬空式安装配合槽底倾斜式设计,槽体清洗清理方便快捷;

            (5)  清洗过程中超声波+抛动辅助,有效提高清洗效率;

            (6)  精巧的等工位移载结构能最大限度地减少辅助运行时间,保正工艺参数实施的准确性;

            (7)  多臂机械手提升、横移均采用导轨导柱导向,定位准确、运行五平稳,流畅;

            (8)  升降装置配有防压机构,压篮故障自动停机并报警,使用安全无忧;

             工作机理:

            待清洗工件放入料框内,由人工将料框放上入料口,多臂机械臂按PLC指定的程序将料框搬送到相应工位;完成对工件的清洗、漂洗、漂洗、吸引干燥及真空干燥后、送至卸料台出料。多臂机械手由气缸横向驱动,直线滑轨导向;上下提升由马达驱动,直线导轴导向;采用触摸屏操作系统,有手动和自动切换开关及有关操作按钮,能对整个运行过程实行控制。

            清洗工艺流程:


            工艺名称

            时间(min)

            介质

            过滤

            方式

            超声功率

            超声频率

            使用

            温度

            01

            超声清洗

            5-8

            碱洗剂

            循环

            1200W

            40Khz

            60±5

            02

            超声清洗

            5-8

            纯水

            自循环

            1200W

            40Khz

            常温

            03

            超声清洗

            5-8

            纯水

            自循环

            1200W

            40Khz

            常温

            04

            超声清洗

            5-8

            酸洗剂

            循环

            1000W

            80Khz

            60±5

            05

            超声清洗

            5-8

            纯水

            自循环

            1000W

            80Khz

            常温

            06

            超声清洗

            5-8

            纯水

            自循环

            1000W

            120Khz

            80±5

            07

            吸引干燥

            5-8

            热风

            循环

            -

             

            125±5

            08

            真空干燥

            5-8

            真空

            抽气

            -

            -

            80±5


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