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        成功案例
        • 真空清洗机
        • 真空干燥自动超声波清洗机
        • 真空干燥清洗机

        设备名称:真空干燥式全自动超声波清洗机

        设备型号:FWA-850TEK
        清洗对象:集成电路芯片
        使用厂家:爱普生精密电子 (苏州)有限公司

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        详细参数 Parameter

        FWA-850TEK型清洗机采用流行环保水基清洗工艺,具有如下优点。

        (1)  设计先进、合理,充分考虑了环保和节能的要求;

        (2)  独特的锯齿状四周溢流,清洗区液体干净,无二次污染;

        (3)  采用全封闭式结构,运行部件设计充分考虑防止污染;

        (4)  超声波震动板悬空式安装配合槽底倾斜式设计,槽体清洗清理方便快捷;

        (5)  清洗过程中超声波+抛动辅助,有效提高清洗效率;

        (6)  精巧的等工位移载结构能最大限度地减少辅助运行时间,保正工艺参数实施的准确性;

        (7)  多臂机械手提升、横移均采用导轨导柱导向,定位准确、运行五平稳,流畅;

        (8)  升降装置配有防压机构,压篮故障自动停机并报警,使用安全无忧;

         工作机理:

        待清洗工件放入料框内,由人工将料框放上入料口,多臂机械臂按PLC指定的程序将料框搬送到相应工位;完成对工件的清洗、漂洗、漂洗、吸引干燥及真空干燥后、送至卸料台出料。多臂机械手由气缸横向驱动,直线滑轨导向;上下提升由马达驱动,直线导轴导向;采用触摸屏操作系统,有手动和自动切换开关及有关操作按钮,能对整个运行过程实行控制。

        清洗工艺流程:


        工艺名称

        时间(min)

        介质

        过滤

        方式

        超声功率

        超声频率

        使用

        温度

        01

        超声清洗

        5-8

        碱洗剂

        循环

        1200W

        40Khz

        60±5

        02

        超声清洗

        5-8

        纯水

        自循环

        1200W

        40Khz

        常温

        03

        超声清洗

        5-8

        纯水

        自循环

        1200W

        40Khz

        常温

        04

        超声清洗

        5-8

        酸洗剂

        循环

        1000W

        80Khz

        60±5

        05

        超声清洗

        5-8

        纯水

        自循环

        1000W

        80Khz

        常温

        06

        超声清洗

        5-8

        纯水

        自循环

        1000W

        120Khz

        80±5

        07

        吸引干燥

        5-8

        热风

        循环

        -

         

        125±5

        08

        真空干燥

        5-8

        真空

        抽气

        -

        -

        80±5


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